半導體實驗室氣路設計理念是安全、合理、環(huán)保!那么主要做到的都是什么呢?安全理念，我們做到了對實驗設備可能產生的有害廢氣、廢水進行特殊設計、處理，保障實驗人員的身體健康;在安全出口方面考慮到的都是根據具體情況設計的Z短的逃生路線，優(yōu)化洗眼器及緊急沖淋裝置的位置，增加了發(fā)生以外事故的逃生幾率，減少了突發(fā)情況。合理的布局，對實驗室家具、介質系統(tǒng)進行正確設計、合理選材、規(guī)范施工，根據人體工程學原理，生產出人性化的設備，符合絕大部分人的要求。同時在通風設施上的安裝布局都是按照標準來執(zhí)行的，保證了實驗人員有一個良好的工作環(huán)境。
半導體實驗室氣路系統(tǒng)的維護事項：
1、對庫存、備用或因任務不足需要封存一段時間的儀器設備要定期清潔、查點、進行防塵、防銹、防潮等方面的維護。
2、各實驗室必須建立嚴格的崗位責任制，系統(tǒng)根據所使用儀器設備的特點和要求，制定相應的維護保養(yǎng)措施，并認真落實，使儀器設備的維護保養(yǎng)做到經常化、制度化。
3、要加強對實驗技術人員以及學生的基本操作訓練，使他們熟悉儀器設備性能特點，掌握基本操作方法，避免因操作不當或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設備使用，要嚴格執(zhí)行持證上崗的制度，嚴禁未經培訓、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。
半導體實驗室氣路氣體采用集中供氣方式，由實驗室外專用供氣區(qū)域用管路引進。除了潔凈空氣由空氣壓縮系統(tǒng)直接產生外，其余氣體都是采用高壓氣瓶供氣。每種氣體都要有主供和備供氣瓶，并安裝自動切換面板進行供氣控制，保證不間斷供氣。另外主要的控制閥門和減壓閥門都應安裝在實驗室外。實驗室氣體由不銹鋼管路輸送，一般1.5米內并必須有支架固定在墻面。在實驗室內所有管路安裝在天花板下方，沿墻進行明設。
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